ALICAT 气体质量流量控制器-双向型 22系列

美国ALICAT 22系列双向型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。22系列双向型质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀，正向或反向精确测量与控制过程气体的质量流量、体积流量和压力。采用双阀门设计模式，一台阀门专门用于控制进气、另一台用于排气，实现了仅用一台设备便可同时控制开放式或密闭容器内上游、下游端流量，以及正压、背压。

应用及案例

● 大学/研究所

● 环境监测

● 真空行业及镀膜

● 工业炉窑

● 半导体

● 汽车制造

● 光伏

● 燃料电池

● 计量校准

● 过程工艺气体测量

产品特色

●  数字化产品，双向流量控制

●  多参数显示和输出：温度、压力、流量等

●  多参数控制:体积流量、质量流量和压力

●  标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板

●  可选高精度：可优于0.5%

●  高量程比 200：1

●  响应时间快 仅需100 ms（可调）

●  内置98种气体

●  可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

技术指标

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类：内置了98种气体，请参考“产品资料下载”气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量程：从-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
最大显示流量：-100%FS～100%FS
显示屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性：± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
响应时间：100ms(可调) 预热时间：<1s
标定工况：25?C & 100kPa 绝压、20?C & 100kPa 绝压、0?C & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ?C
工作湿度：0-100%,无冷凝
标准最大工作压力：1MPa 表压
标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流：250mA ～ 750mA
电气接口：8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们

选项配件

1

安装手册

1

机构认证

1

产品详图

1

尺寸大图

1

型号列表

1

气体编码

* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。

* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。

* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。

* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。