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产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可选高精度：可优于0.5%
● 可测范围广，0.01~100%满量程
● 满量程超低压损最低为480Pa
● 响应时间快，优于10 ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
精度升级
量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量程 / ℃温差± 0.01% 满量程 / Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃温差± 0.1 % 读数 / Atm压力差
技术指标
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可测比 0.01%～100%满量程
最大显示流量 128%满量程
显 示 屏 带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± （0.8%读数 + 0.2%满量程） 精度升级部分见左下角
± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外额外增加±0.5%读数误差
重 复 性 ±（0.2%读数+0.02%满量程）
质量流量温度零点和满量程漂移 0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）
质量流量压力零点和满量程漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ Atm
（从校准压力开始）
响应时间 127 ms（可调）
预热时间 < 1 s
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝
最大工作压力 0.3 MPa表压，进出口最大允许瞬时压差70 Kpa
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.75%读数（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模拟输出信号 0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 9-24 VDC（如选4-20 mA或0-10VDC输出，须为12-24VDC）
供电电流 40 mA （+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10VDC）
电气接口 DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302、303不锈钢、Viton、硅橡胶、环氧树脂、
玻璃增强聚苯硫醚、铝、玻璃、硅、金
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA（可选）
选项配件
●标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
超低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
RS-232多点式数字输入 (仅用于质量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选 (仅用于质量流量控制器)
可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
内置30种气体可选
200:1 量程可调比
NPT接头
可测量和控制从0.5SCCM到500SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保
●可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
ProfiBUS数字信号输入(仅用于质量流量控制器)
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出 (仅用于质量流量计)
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR、VCO 接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（最多4种）
定制流量范围
不锈钢阀门 (仅用于质量流量控制器)
高流量低压损阀门 (仅用于质量流量控制器)
集成式电位计控制 (仅用于质量流量控制器)
操作手册
朗润达-ALICAT 简易操作说明-气体质量流量计21V1.pdf
机构认证
待更新。
尺寸详图
尺寸压损
满量程质量流量计 | 满量程压损1（PSID） 排气到大气中 | 外观尺寸 | 过程连接尺寸1 |
0.5 ~ 5 SCCM | 0.07 PSID | 3.897''H x 2.375''W x 1.050''D | M5 内螺纹（10-32兼容）2 |
10 ~ 20 SCCM | 0.07 PSID | ||
50 SCCM ~ 5 SLPM | 0.07 PSID | 4.067''H x 2.375''W x 1.050''D | 1/8'' NPT 内螺纹 |
5 SLPM | 0.07 PSID | 4.167''H x 2.375''W x 1.050''D | |
10 SLPM | 0.08 PSID | 4.207''H x 2.625''W x 1.050''D | 1/4'' NPT 内螺纹 |
20 SLPM | 0.25 PSID | 4.367''H x 4.000''W x 1.600''D | |
40 SLPM | 0.12 PSID | 4.967''H x 4.000''W x 1.600''D | 1/2'' NPT 内螺纹 |
50 SLPM | 0.14 PSID | 3/4'' NPT 内螺纹 | |
100 SLPM | 0.24 PSID | ||
250 SLPM | 0.60 PSID | ||
500 SLPM | 0.39 PSID | 5.287''H x 5.200''W x 2.900''D | |
1000 SLPM | 0.24 PSID | 6.267''H x 5.200''W x 3.840''D | 2'' NPT 内螺纹 |
1、有关可用的进程连接选项，请来电咨询，例如： 压缩、表面密封、推入式连接、BSPP、SAE或Swagelok®（包括管子、VCO和VCR）。 2、与Buna-N O型密封圈一起装箱至1/8“内螺纹NPT接头。 | |||
产品大图
气体编码
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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